ISBN/价格: | 978-7-03-072489-2:CNY88.00 |
作品语种: | chi eng |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 高温SiC MEMS传感器的热电特性/.(澳) 丁东安, 阮南中, 陶宗越著/.Toan Dinh, Nam-Trung Nguyen, Dzung Viet Dao/.王兴华 ... [等] 译 |
出版发行项: | 北京:,科学出版社:,2022 |
载体形态项: | x, 133页:;+图 (部分彩图):;+24cm |
提要文摘: | 本书主要介绍了碳化硅 (SiC) 传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分, 共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性; 第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程, 总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展; 第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。 |
题名主题: | 碳化硅热敏电阻器 研究 |
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题名主题: | 微机电系统 传感器 热电效应 研究 |
中图分类: | TM54 |
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中图分类: | TH-39 |
个人名称等同: | 丁东安 著 |
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个人名称等同: | 阮南中 著 |
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个人名称等同: | 陶宗越 著 |
个人名称次要: | 王兴华 译 |
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个人名称次要: | 刘文宝 译 |
记录来源: | CN 湖北三新 20230307 |